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蛍光X線膜厚測定装置


この機器は米子施設にあります

機器概要

めっき等の膜厚が測定できます

  • 半導体、機械・電子部品、プリント基板に使用されるめっき等金属薄膜の膜厚及び組成を測定できます。

主な仕様

メーカーSIIイナノテクノロジー(株)
型式SFT9400
X線管 50kV、1mA
ターゲット モリブデン
コリメータ 0.015、0.05、0.1、0.2mm丸形
ステージ X220mm;Y150mm;Z150mm

機器の利用について

連絡先 米子施設 無機材料担当
TEL 0859-37-1811 FAX 0859-37-1823
使用料 400円 / 時間
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