蛍光Ｘ線膜厚測定装置

機器概要

めっき等の膜厚が測定できます

• 半導体、機械・電子部品、プリント基板に使用されるめっき等金属薄膜の膜厚及び組成を測定できます。

主な仕様

メーカー	SIIイナノテクノロジー（株）
型式	SFT9400

X線管	50kV、1mA
ターゲット	モリブデン
コリメータ	0.015、0.05、0.1、0.2mm丸形
ステージ	Ｘ220mm；Ｙ150mm；Ｚ150mm

機器の利用について

連絡先	米子施設 無機材料グループ TEL 0859-37-1811 FAX 0859-37-1823
使用料	400円 / 時間