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電界放出型走査電子顕微鏡


この機器は米子施設にあります

機器概要

  • 細く絞った電子線を照射し、対象物から発生する2次電子、反射電子等を検出し、高倍率(数万~数十万倍)・高分解能(ナノメートルスケール)の観察・分析を行う装置です。

主な仕様

メーカー(株)日立ハイテクノロジーズ
型式SU5000
本体 ショットキー走査電子顕微鏡
写真倍率 10~600,000倍
加速電圧 0.5~30kV
分解能 1.2nm
(加速電圧30kV、WD5mm、観察倍率18万倍)
分析部 EDAX Pegasusシステム
・エネルギー分散型X線分析装置(EDS)
・結晶方位解析装置(EBSD)

機器の利用について

連絡先 米子施設 無機材料担当
TEL 0859-37-1811 FAX 0859-37-1823
使用料 2800円 / 時間
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