電界放出型走査電子顕微鏡
この機器は米子施設にあります
機器概要
- 細く絞った電子線を照射し、対象物から発生する2次電子、反射電子等を検出し、高倍率(数万~数十万倍)・高分解能(ナノメートルスケール)の観察・分析を行う装置です。
こんなことができます
動画で紹介
主な仕様
メーカー | (株)日立ハイテクノロジーズ |
---|---|
型式 | SU5000 |
本体 | ショットキー走査電子顕微鏡 |
---|---|
写真倍率 | 10~600,000倍 |
加速電圧 | 0.5~30kV |
分解能 | 1.2nm (加速電圧30kV、WD5mm、観察倍率18万倍) |
分析部 | EDAX Pegasusシステム ・エネルギー分散型X線分析装置(EDS) ・結晶方位解析装置(EBSD) |
機器の利用について
連絡先 |
米子施設 機械・無機材料グループ TEL 0859-37-1811 FAX 0859-37-1823 |
---|---|
使用料 | 2800円 / 時間 |