グロー放電発光分光分析装置
この機器は米子施設にあります
機器概要
薄膜の評価に威力を発揮
- 薄膜材料を表面からスパッタし元素分析を行います。そのため、表面からの元素分布や膜の不良などが一目瞭然です。
測定時間の短縮
- ESCA、SIMSなどに比べ非常に簡便な操作により測定が可能です。また、超高真空系を必要とせず、測定時間も短いために数多くのサンプルが測定可能です。
- 試料の導入は大気中でOK。
こんなことができます
- ESCA、SIMSなどに比べ非常に簡便な操作により測定が可能です。また、超高真空系を必要とせず、測定時間も短いために数多くのサンプルが測定可能です。
- 試料の導入は大気中でOK。
- 測定例 測定例
主な仕様
メーカー | (株)堀場製作所 |
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型式 | JY-5000RF |
検出可能元素 | H, Li, Be, B, C, N, O, Na, Mg, Al, Si,P, S, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Se, Zr, Nb, Mo, Rh, Pd, Ag, Cd, Sn, Sb, Ta, W, Pt, Au, Pb, Bi |
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回折格子 | 2400本/mm |
データ | 紙、ASCII、Excel |
機器の利用について
連絡先 |
米子施設 機械・無機材料グループ TEL 0859-37-1811 FAX 0859-37-1823 |
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使用料 | 1700円 / 時間 |