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グロー放電発光分光分析装置



この機器は米子施設にあります

機器概要

薄膜の評価に威力を発揮

  • 薄膜材料を表面からスパッタし元素分析を行います。そのため、表面からの元素分布や膜の不良などが一目瞭然です。

測定時間の短縮

  • ESCA、SIMSなどに比べ非常に簡便な操作により測定が可能です。また、超高真空系を必要とせず、測定時間も短いために数多くのサンプルが測定可能です。
  • 試料の導入は大気中でOK。

こんなことができます

  • ESCA、SIMSなどに比べ非常に簡便な操作により測定が可能です。また、超高真空系を必要とせず、測定時間も短いために数多くのサンプルが測定可能です。
  • 試料の導入は大気中でOK。
    • 測定例 測定例

主な仕様

メーカー(株)堀場製作所
型式JY-5000RF
検出可能元素 H, Li, Be, B, C, N, O, Na, Mg, Al, Si,P, S, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Se, Zr, Nb, Mo, Rh, Pd, Ag, Cd, Sn, Sb, Ta, W, Pt, Au, Pb, Bi
回折格子 2400本/mm
データ 紙、ASCII、Excel

機器の利用について

連絡先 米子施設 無機材料担当
TEL 0859-37-1811 FAX 0859-37-1823
使用料 1700円 / 時間
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