高精度輪郭形状測定機

機器概要

○測定物の表面を接触子(プローブ)で走査し、輪郭形状と表面粗さを同時に測定することができます。
○上下両側に接触子(プローブ)を備えており上下面間の距離測定が可能です
○ISO25178に準拠した３次元表面性状評価に対応します
○測定したデータは形状解析ソフトにて評価し、3D表示も可能です
○シングル、デュアル、深溝、ボア、ボールスタイラスなど測定対象に応じたスタイラスが使用できます。

＊２０２２年度公益財団法人JKA補助事業導入装置です

主な仕様

メーカー	マール・ジャパン
型式	MarSurf LD 260

トレース長さ(Lt)	0.1mm～260ｍｍ
位置決め速度測定	0.02mm/s　～ 200mm/s
速度	0.02mm/s～10mm/s
最大測定ポイント	520万ポイント
分解能	0.8nm
X軸表示不確かさ	±(0.2+L /1000)μm
【プローブシステム】
プローブ測定範囲	13mm(100mmﾌﾟﾛｰﾌﾞｱｰﾑ)
プローブ測定範囲	26mm(2000mmﾌﾟﾛｰﾌﾞｱｰﾑ)
測定圧	0.5mN～30mN※ｿﾌﾄｳｪｱにより調整可

機器の利用について

連絡先	米子施設 機械･計測制御グループ TEL 0859-37-1811 FAX 0859-37-1823
使用料	400円 / 時間