電子顕微鏡(1)

機器概要

試料表面の拡大観察と成分分析を行う装置です

• 製品や部品の微細構造の観察、素材表面の拡大観察の他、異物や変色部の元素分析、材料の元素分析を行うことが出来ます。

＊令和3年度公益財団法人JKA補助事業導入装置です

主な仕様

メーカー	（株）日立ハイテク
型式	SU3900

写真倍率	5～300,000倍
加速電圧	0.3～30kV
分解能	3.0nm (加速電圧30kV、WD5mm、高真空モード)
最大試料寸法	300 mm径
最大搭載可能高さ	130 mm
分析部	オックスフォード・インストゥルメンツ（株）製 エネルギー分散型X線分析装置（EDS）AZtecLive Ultim Max 40

機器の利用について

連絡先	鳥取施設 電子システムグループ TEL 0857-38-6200 FAX 0857-38-6210
使用料	1200円 / 時間